曝光方法及曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410383129.9

申请日：

2024-03-29

公开(公告)号：

CN118092085B

公开(公告)日：

2025-04-25

发明(设计)人：

李煜芝戴文斌张民山蓝科周畅

申请人：

上海交通大学上海微电子装备（集团）股份有限公司

申请人地址：

200240 上海市闵行区东川路800号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F9/00 G03F1/38 G03F1/42

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

汪春艳

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-25	授权	授权
2024-06-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20240329
2024-05-28	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光方法及曝光装置 [P].

李煜芝 ;

戴文斌 ;

张民山 ;

蓝科 ;

周畅 .

中国专利 :CN118092085A ,2024-05-28

[2]

曝光装置及曝光方法 [P].

豊田光纪 ;

谷津修 ;

竹内裕一郎 ;

蛭川茂 ;

诹访恭一 ;

中岛利治 .

中国专利 :CN1407408A ,2003-04-02

[3]

曝光装置及曝光方法 [P].

奥村哲人 ;

元田善规 ;

宫地宏昭 .

中国专利 :CN110945430B ,2020-03-31

[4]

曝光装置及曝光方法 [P].

熊泽雅人 .

中国专利 :CN105652609A ,2016-06-08

[5]

曝光装置及曝光方法 [P].

铃木启之 ;

杉山茂久 .

中国专利 :CN108693719A ,2018-10-23

[6]

曝光装置及曝光方法 [P].

白户章仁 ;

白数广 ;

加藤正纪 .

中国专利 :CN100343760C ,2003-10-29

[7]

曝光方法及曝光装置 [P].

胜目智弘 .

中国专利 :CN100380235C ,2003-09-24

[8]

曝光装置及曝光方法 [P].

坂本英昭 .

中国专利 :CN101180706A ,2008-05-14

[9]

曝光装置用曝光头、曝光装置以及曝光方法 [P].

奥山隆志 .

日本专利 :CN118689042A ,2024-09-24

[10]

投影曝光装置及投影曝光方法 [P].

小谷秀人 ;

田中良和 ;

大庭隆正 .

中国专利 :CN109154785A ,2019-01-04

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