一种RHEED性能参数测试系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411978414.1
申请日
2024-12-31
公开(公告)号
CN119882004A
公开(公告)日
2025-04-25
发明(设计)人
张颖志 袁方 叶琳琳 杜向辉 汪良 赵崇凌 佟雷 马锦 王启佳
申请人
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请人地址
110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号
IPC主分类号
G01T1/29
IPC分类号
G01T7/00
代理机构
沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
代理人
白振宇
法律状态
公开
国省代码
北京市
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共 50 条
[1]
电气性能参数测试系统 [P]. 
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李杰 ;
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