一种大面积液晶面板投影光刻镜头

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202421001465.4
申请日
2024-05-10
公开(公告)号
CN222825726U
公开(公告)日
2025-05-02
发明(设计)人
罗先刚 申洪羽 刘明刚
申请人
天府兴隆湖实验室
申请人地址
610217 四川省成都市天府新区科智路999号
IPC主分类号
G02B13/00
IPC分类号
G02B13/06 G02B13/14 G02B13/18 G02B13/22 G03F7/20
代理机构
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共 50 条
[1]
一种大面积液晶面板投影光刻镜头 [P]. 
罗先刚 ;
申洪羽 ;
刘明刚 .
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[2]
一种用于大面积光刻的投影物镜 [P]. 
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黄玲 .
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[3]
液晶面板及液晶投影装置 [P]. 
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[4]
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[7]
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[9]
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[10]
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严翠平 .
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