样品冷却装置及扫描电子显微镜

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421936050.6

申请日：

2024-08-09

公开(公告)号：

CN222914725U

公开(公告)日：

2025-05-27

发明(设计)人：

李俊杨中杰彭连举

申请人：

荣芯半导体（淮安）有限公司

申请人地址：

223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01J37/02

IPC分类号：

H01J37/20 H01J37/28

代理机构：

北京市磐华律师事务所 11336

代理人：

高伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-27	授权	授权

共 50 条

[1]

扫描电子显微镜的扫描方法及扫描电子显微镜 [P].

陈航卫 .

中国专利 :CN117990019A ,2024-05-07

[2]

扫描电子显微镜及扫描透过电子显微镜 [P].

稻田博实 ;

中村邦康 .

中国专利 :CN103703537B ,2014-04-02

[3]

扫描电子显微镜样品台 [P].

谢家仪 ;

冯建涛 ;

韩东 .

中国专利 :CN202033304U ,2011-11-09

[4]

低能扫描电子显微镜系统、扫描电子显微镜系统及样品探测方法 [P].

李帅 ;

何伟 .

中国专利 :CN109300759B ,2019-02-01

[5]

扫描电子显微镜 [P].

小柏刚 ;

佐藤贡 ;

今野充 .

中国专利 :CN104272426B ,2015-01-07

[6]

扫描电子显微镜 [P].

森下英郎 ;

大岛卓 ;

波田野道夫 ;

伊东祐博 .

中国专利 :CN103733299B ,2014-04-16

[7]

扫描电子显微镜 [P].

K.D.范德马斯特 ;

A.F.J.汉曼 ;

W.H.C.瑟乌斯 ;

S.R.M.斯多科斯 .

美国专利 :CN113223913B ,2025-06-03

[8]

扫描电子显微镜 [P].

多夫·夏查尔 ;

拉菲·迪彼丘多 .

中国专利 :CN105143866A ,2015-12-09

[9]

扫描电子显微镜 [P].

岩谷彻 ;

高堀荣 ;

大泷智久 ;

波多野治彦 .

中国专利 :CN102668013B ,2012-09-12

[10]

扫描电子显微镜 [P].

杨萍 ;

倪福全 ;

胡建 ;

杨敏 ;

曾赟 .

中国专利 :CN203774245U ,2014-08-13

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