一种钛铝合金靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311430895.8

申请日：

2023-10-31

公开(公告)号：

CN117265489B

公开(公告)日：

2025-06-03

发明(设计)人：

姚力军潘杰陈石廖培君周友平

申请人：

宁波江丰电子材料股份有限公司

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

C22C1/02 C22B9/22 C22C14/00 C22F1/18 C22F1/02 C21D9/00 B21B3/00 B21B37/74

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

牛海燕

法律状态：

授权

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-03	授权	授权
2024-01-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20231031

共 50 条

[1]

一种钛铝合金靶材及其制备方法 [P].

吴健 ;

黄显峰 ;

雷雨 ;

周志宏 ;

杨永添 .

中国专利 :CN111155063B ,2020-05-15

[2]

钛铝合金靶材及其制备方法 [P].

宋爱谋 ;

钟小亮 .

中国专利 :CN104480444A ,2015-04-01

[3]

钛铝合金靶材的制备方法 [P].

刘春轩 ;

张扬 ;

伍小波 ;

蒋兆汝 ;

李清洲 ;

戴满生 ;

陈杰 ;

吴云 ;

曹柳絮 ;

梁啟文 ;

苏新 .

中国专利 :CN111575659A ,2020-08-25

[4]

钛铝合金靶材制备装置 [P].

付莹 ;

聂士博 ;

张居里 .

中国专利 :CN209669341U ,2019-11-22

[5]

一种钛铝合金靶材的制备方法 [P].

林泓成 ;

黄军浩 .

中国专利 :CN112410739A ,2021-02-26

[6]

一种钛铝合金靶材的制备方法 [P].

蔡新志 ;

童培云 ;

朱刘 ;

冉成义 ;

王慧康 .

中国专利 :CN112725658A ,2021-04-30

[7]

一种钛铝合金靶材的制备方法 [P].

黄永香 .

中国专利 :CN114525479A ,2022-05-24

[8]

一种钛铝合金靶材的制备方法 [P].

张中美 .

中国专利 :CN111101105A ,2020-05-05

[9]

一种钛铝合金靶材的制备方法 [P].

王炜 .

中国专利 :CN107815653A ,2018-03-20

[10]

一种钛铝合金靶材及其制备方法和应用 [P].

宛晗 ;

马国成 ;

王小兰 ;

高建成 .

中国专利 :CN119549723A ,2025-03-04

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