轨道中硅片流转异常监测方法、系统及存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411911841.8

申请日：

2024-12-24

公开(公告)号：

CN120033113A

公开(公告)日：

2025-05-23

发明(设计)人：

刘同连潘吉

申请人：

上海昶火微电子科技有限公司

申请人地址：

201306 上海市松江区佘山镇环山路2号5栋102室

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/677 C23C16/52 H04L41/0631 G06V10/82 G06N3/0464

代理机构：

北京子焱知识产权代理事务所(普通合伙) 11932

代理人：

刘伟丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-10	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20241224
2025-05-23	公开	公开

共 50 条

[1]

异常气味在线监测系统、方法、设备及存储介质 [P].

于亿 ;

戴闵鲁 .

中国专利 :CN120214230A ,2025-06-27

[2]

系统异常监测方法、装置、设备及存储介质 [P].

马昱忻 .

中国专利 :CN114416417A ,2022-04-29

[3]

外设异常监测方法、装置、系统及存储介质 [P].

司马鑫 ;

李泓霖 ;

李振宇 ;

陈才 .

中国专利 :CN114490276B ,2022-05-13

[4]

系统异常监测方法、装置、设备及存储介质 [P].

马昱忻 .

中国专利 :CN114416417B ,2025-08-15

[5]

数据异常流转的监测方法、装置、设备及存储介质 [P].

于城 ;

周凯 ;

蒋小燕 ;

姚垒 ;

李思聪 ;

王智明 .

中国专利 :CN117527355A ,2024-02-06

[6]

设备异常监测及报警装置、方法及存储介质 [P].

杨朋杰 ;

崔嵩鹤 ;

黄紫薇 ;

张自伟 ;

耿振 .

中国专利 :CN119028096A ,2024-11-26

[7]

传感器异常监测方法、装置、设备、存储介质及程序产品 [P].

刘海飞 ;

李晓彤 .

中国专利 :CN120293202A ,2025-07-11

[8]

网络管理异常监测方法、系统、车辆及可读存储介质 [P].

孙胜富 .

中国专利 :CN112558590A ,2021-03-26

[9]

车内生命体异常监测方法、设备及存储介质 [P].

李凯 .

中国专利 :CN112298088A ,2021-02-02

[10]

系统异常监测方法、装置、设备以及存储介质 [P].

徐俊 ;

吴慧强 ;

卢冠军 .

中国专利 :CN117389826A ,2024-01-12

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