一种用于CVD的供气装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421966688.4

申请日：

2024-08-14

公开(公告)号：

CN222908058U

公开(公告)日：

2025-05-27

发明(设计)人：

邓春阳王良均杨泰生吴承晚

申请人：

湖南联合半导体科技有限公司

申请人地址：

410000 湖南省长沙市岳麓区潇湘南路一段182号创汇商务中心

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

C23C16/448 C23C16/52

代理机构：

长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113

代理人：

唐列冲

法律状态：

授权

国省代码：

湖南省长沙市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-27	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于反应炉的供气装置 [P].

郭昭翰 ;

郭睿 ;

司有 ;

游超拢 .

中国专利 :CN215886925U ,2022-02-22

[2]

一种用于无尘室的供气装置 [P].

任济波 .

中国专利 :CN205832920U ,2016-12-28

[3]

一种用于溅射镀膜的连续供气装置 [P].

郑利波 .

中国专利 :CN211005594U ,2020-07-14

[4]

一种用于消化内镜的供气装置 [P].

李彤 ;

蒋远健 ;

张伟光 .

中国专利 :CN208864275U ,2019-05-17

[5]

一种供气装置和供气系统 [P].

邹付军 ;

祝国源 ;

李龙 ;

陆亚青 ;

王璐 ;

潘黎明 ;

杨学保 ;

黄小明 ;

康安辉 ;

范俊杰 ;

陈向飞 ;

张海庆 ;

纪亚强 ;

陈继学 ;

曹槊 ;

唐殿容 ;

吴雪松 ;

关万里 ;

李岩 ;

杨叶强 ;

雷达尊 .

中国专利 :CN214159542U ,2021-09-10

[6]

一种用于无尘室的供气装置 [P].

任济波 .

中国专利 :CN208018305U ,2018-10-30

[7]

一种供气装置 [P].

高维 .

中国专利 :CN205447260U ,2016-08-10

[8]

一种用于烤炉的供气装置 [P].

何悦芳 ;

顾志兵 .

中国专利 :CN204554862U ,2015-08-12

[9]

应用于喷气织机的独立供气装置 [P].

陆留斌 ;

陆留冬 ;

储建欣 .

中国专利 :CN222160542U ,2024-12-13

[10]

一种用于化工设备的安全供气装置 [P].

吴田洪 ;

吴田东 .

中国专利 :CN215489104U ,2022-01-11

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