一种用于抛光液的搅拌冷却装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421681874.3

申请日：

2024-07-16

公开(公告)号：

CN222857685U

公开(公告)日：

2025-05-13

发明(设计)人：

温鹏飞

申请人：

苏州芯轮半导体科技有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市吴中经济开发区吴中大道1183号30幢1楼

IPC主分类号：

B24B57/00

IPC分类号：

B24B37/34 B24B37/015 B01F35/92 B01F35/32 B01F27/90 B01F27/191 B01F101/27

代理机构：

苏州德坤知识产权代理事务所(普通合伙) 32523

代理人：

查杰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种冷却装置抛光液 [P].

岳伟 ;

毛可勇 ;

殷华林 ;

李海宁 ;

戴安娜 ;

伊莲娟 ;

陈志嵩 .

中国专利 :CN204195531U ,2015-03-11

[2]

一种用于半导体石英环的抛光液供给装置 [P].

张广雨 ;

张慧 .

中国专利 :CN217255559U ,2022-08-23

[3]

一种抛光液搅拌装置 [P].

伊观兰 .

中国专利 :CN211514188U ,2020-09-18

[4]

一种抛光液搅拌装置 [P].

郭小霞 .

中国专利 :CN218249896U ,2023-01-10

[5]

一种抛光液搅拌装置 [P].

肖鹏飞 ;

刘向群 ;

任云东 ;

梁红梅 .

中国专利 :CN205700313U ,2016-11-23

[6]

一种抛光液搅拌装置 [P].

伊观兰 .

中国专利 :CN211725441U ,2020-10-23

[7]

一种抛光液冷却装置 [P].

宋迎顺 .

中国专利 :CN210790582U ,2020-06-19

[8]

一种抛光液搅拌装置 [P].

白洋洋 .

中国专利 :CN222111572U ,2024-12-06

[9]

一种冷却抛光液装置 [P].

宁富生 .

中国专利 :CN222021420U ,2024-11-19

[10]

一种抛光液用快速冷却装置 [P].

王永成 .

中国专利 :CN221936437U ,2024-11-01

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