共 50 条
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用于具有嵌入式温度传感器的衬底支撑件的连接器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980022733.6
申请日：
2019-03-18
公开(公告)号：
CN111919289B
公开(公告)日：
2025-05-06
发明(设计)人：
田思源
唐纳德·J·米列尔
申请人：
朗姆研究公司
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/687
H01L21/67
H01L21/02
H01L21/324
代理机构：
上海胜康律师事务所 31263
代理人：
樊英如;张华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-05-06 | 授权 | 授权 |