小型化MEMS压力传感器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421985956.7

申请日：

2024-08-15

公开(公告)号：

CN222912941U

公开(公告)日：

2025-05-27

发明(设计)人：

许森

申请人：

上海芯绒科技有限公司

申请人地址：

200240 上海市闵行区剑川路950号8号楼

IPC主分类号：

G01L1/22

IPC分类号：

G01L5/00

代理机构：

北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226

代理人：

魏言笑

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-27	授权	授权

共 50 条

[1]

小型化MEMS压力传感器及其制备方法 [P].

许森 .

中国专利 :CN118776716A ,2024-10-15

[2]

MEMS 压力传感器 [P].

谢勇 .

中国专利 :CN205120298U ,2016-03-30

[3]

MEMS压力传感器 [P].

湛邵斌 ;

霍红颖 ;

胡涛 ;

高月芳 ;

王新中 .

中国专利 :CN206876312U ,2018-01-12

[4]

MEMS压力传感器 [P].

湛邵斌 ;

霍红颖 ;

胡涛 ;

高月芳 ;

王新中 .

中国专利 :CN107144378A ,2017-09-08

[5]

MEMS压力传感器 [P].

桑新文 ;

高洪连 ;

盛云 .

中国专利 :CN111928981A ,2020-11-13

[6]

MEMS压力传感器 [P].

桑新文 ;

高洪连 ;

盛云 .

中国专利 :CN212320965U ,2021-01-08

[7]

MEMS压力传感器 [P].

张睿 ;

康婷 .

中国专利 :CN105203233A ,2015-12-30

[8]

MEMS压力传感器 [P].

焦祥锟 ;

孙斌燕 ;

李晓波 ;

范泽龙 ;

焦振楠 .

中国专利 :CN117804650A ,2024-04-02

[9]

MEMS压力传感器 [P].

马菲积斯·斯维伦 ;

扬·雅各布·科宁 ;

赫尔曼·西恩拉德·威廉·贝吉林克 .

中国专利 :CN102032970A ,2011-04-27

[10]

MEMS压力传感器 [P].

焦祥锟 ;

孙斌燕 ;

李晓波 ;

范泽龙 ;

焦振楠 .

中国专利 :CN117804651A ,2024-04-02

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