一种全硅基红外偏振光电探测器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411910137.0

申请日：

2024-12-24

公开(公告)号：

CN119984352A

公开(公告)日：

2025-05-13

发明(设计)人：

田硕秋陈宜方郭谨宇袁文涛

申请人：

复旦大学

申请人地址：

200433 上海市杨浦区邯郸路220号

IPC主分类号：

G01D5/30

IPC分类号：

G03F7/20 B05D1/00 C23C14/14 C23C14/32 G01D5/34 G01B11/24 G01J4/00

代理机构：

上海正旦专利代理有限公司 31200

代理人：

陆飞;陆尤

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-30	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01D 5/30申请日:20241224
2025-05-13	公开	公开

共 50 条

[1]

近红外波段全硅基纳米光电探测器 [P].

杨柳 ;

何赛灵 .

中国专利 :CN102569485B ,2012-07-11

[2]

一种近红外波段全硅基纳米光电探测器 [P].

杨柳 ;

何赛灵 .

中国专利 :CN202405298U ,2012-08-29

[3]

一种偏振光电探测器及其制备方法 [P].

温兴林 ;

邢若瑄 .

中国专利 :CN120813118A ,2025-10-17

[4]

一种偏振光电探测器及其制备方法与成像器件 [P].

张豫鹏 ;

周梦婷 ;

汪国平 ;

黎德龙 .

中国专利 :CN119300550A ,2025-01-10

[5]

硅基光电探测器及其制备方法 [P].

杨荣 ;

王庆 ;

余明斌 .

中国专利 :CN117476800A ,2024-01-30

[6]

硅基光电探测器及其制备方法 [P].

杨荣 ;

王庆 ;

余明斌 .

中国专利 :CN117476800B ,2024-04-09

[7]

一种超紧凑近红外圆偏振光电探测器及其制备方法 [P].

庄涛涛 ;

童志 .

中国专利 :CN120129314A ,2025-06-10

[8]

一种高灵敏度红外偏振光电探测器及其制备方法 [P].

李京波 ;

孙一鸣 ;

王小周 .

中国专利 :CN114784129A ,2022-07-22

[9]

可调控偏振光电探测器及其制备方法 [P].

顾长志 ;

白庆虎 ;

黄鑫 .

中国专利 :CN119836050A ,2025-04-15

[10]

一种硅基红外波段雪崩光电探测器及其制备方法 [P].

张程 ;

李孝峰 ;

黄炳林 ;

吴乘焓 ;

王绍军 ;

陈泽锋 .

中国专利 :CN118281106B ,2025-04-29

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