旋转载台及加工设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421823265.7

申请日：

2024-07-30

公开(公告)号：

CN222966110U

公开(公告)日：

2025-06-10

发明(设计)人：

郑磊荣许志杰彭杰李福海尹建刚

申请人：

深圳市大族半导体装备科技有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区重庆路12号大族激光智造中心4栋厂房401

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/68

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-10	授权	授权

共 50 条

[1]

旋转载台及加工设备 [P].

曾威 ;

朱秋林 ;

李东宇 ;

尹建刚 .

中国专利 :CN222966109U ,2025-06-10

[2]

激光加工设备的产品冷却分区吸附旋转载台 [P].

赵裕兴 ;

袁欣 .

中国专利 :CN119501351A ,2025-02-25

[3]

激光加工设备的产品冷却分区吸附旋转载台 [P].

赵裕兴 ;

袁欣 .

中国专利 :CN223643013U ,2025-12-09

[4]

吸附式旋转载台 [P].

洪成都 ;

曾麒文 .

中国专利 :CN217035612U ,2022-07-22

[5]

中转载盘及加工设备 [P].

陆学洋 ;

张进峰 ;

吴火忠 ;

吴奔 ;

张盛荣 ;

杨浩 ;

刘念 .

中国专利 :CN223722075U ,2025-12-26

[6]

湿制程加工设备及用于其的旋转载具 [P].

苏胜义 ;

巫坤星 ;

吕理榕 ;

苏绍君 ;

黄世达 .

中国专利 :CN217825551U ,2022-11-15

[7]

加工台及激光加工设备 [P].

关天设 ;

翟学涛 ;

李强 ;

吴超森 ;

杨朝辉 .

中国专利 :CN223083991U ,2025-07-11

[8]

一种旋转载台及缺陷检测装置 [P].

康强强 .

中国专利 :CN214224911U ,2021-09-17

[9]

旋转工作台及激光加工设备 [P].

谭方华 ;

朱克森 ;

刘旭飞 ;

周桂兵 ;

陈焱 ;

高云峰 .

中国专利 :CN215698990U ,2022-02-01

[10]

旋转定位装置及加工设备 [P].

王其荣 ;

任宁 ;

王兴开 ;

李伟雄 ;

李程程 ;

吴初淮 ;

周志强 ;

祁亨 ;

尹湘龙 ;

肖文文 .

中国专利 :CN222944738U ,2025-06-06

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