一种靶材背板的在线抛光装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421821052.0

申请日：

2024-07-30

公开(公告)号：

CN222932445U

公开(公告)日：

2025-06-03

发明(设计)人：

姚力军丁向前王青松

申请人：

武汉江丰电子材料有限公司

申请人地址：

430042 湖北省武汉市东西湖区柏泉茅庙集街43号

IPC主分类号：

B24B29/02

IPC分类号：

B24B27/00 B24B41/02 B24B47/12 B24B47/22 B24B49/00

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

徐浩

法律状态：

授权

国省代码：

河北省唐山市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种靶材抛光装置 [P].

刘萍 .

中国专利 :CN214923331U ,2021-11-30

[2]

一种平面金属靶材的抛光装置 [P].

王广达 ;

李晓龙 ;

季鹏飞 ;

常洋 ;

王凤权 .

中国专利 :CN221290754U ,2024-07-09

[3]

一种靶材抛光装置 [P].

常代展 ;

张东 ;

郝国建 .

中国专利 :CN222371291U ,2025-01-21

[4]

一种旋转靶材外壁抛光装置 [P].

姚力军 ;

丁向前 ;

王青松 .

中国专利 :CN223353924U ,2025-09-19

[5]

一种靶材辅助抛光装置 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

祝龙飞 .

中国专利 :CN211841488U ,2020-11-03

[6]

一种靶材背板 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈琛 .

中国专利 :CN215103499U ,2021-12-10

[7]

一种靶材背板 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

陈文庆 .

中国专利 :CN214937784U ,2021-11-30

[8]

一种金属靶材表面抛光装置 [P].

杨小岗 .

中国专利 :CN211916412U ,2020-11-13

[9]

靶材抛光装置 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

丁向前 .

中国专利 :CN110883709A ,2020-03-17

[10]

一种靶材背板及钛靶材组件 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

袁波 .

中国专利 :CN212834002U ,2021-03-30

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