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研磨用组合物的制造方法和研磨用组合物

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380069212.2
申请日：
2023-09-26
公开(公告)号：
CN119998927A
公开(公告)日：
2025-05-13
发明(设计)人：
村濑雄彦 土屋公亮 丹所久典
申请人：
福吉米株式会社
申请人地址：
日本
IPC主分类号：
H01L21/304
IPC分类号：
B24B37/00 C09G1/02 C09K3/14
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;李恩华
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-07-18 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/304申请日:20230926
2025-05-13 公开 公开
共 50 条
[1]
研磨用组合物 [P]. 
土屋公亮 ;
浅田真希 .
中国专利 :CN109996853A ,2019-07-09
[2]
研磨用组合物 [P]. 
土屋公亮 ;
浅田真希 .
日本专利 :CN119432323A ,2025-02-14
[3]
研磨用组合物 [P]. 
后藤修 ;
田中优己 ;
土屋公亮 .
日本专利 :CN118985038A ,2024-11-19
[4]
研磨用组合物、其制造方法和使用研磨用组合物的研磨方法 [P]. 
森嘉男 ;
谷口惠 ;
向井贵俊 ;
土屋公亮 .
中国专利 :CN110312776A ,2019-10-08
[5]
研磨用组合物 [P]. 
多田真树 ;
熊山茜 ;
田中寻之 .
日本专利 :CN120988641A ,2025-11-21
[6]
研磨用组合物和研磨用组合物套组 [P]. 
土屋公亮 ;
丹所久典 ;
市坪大辉 ;
浅田真希 .
中国专利 :CN109673157B ,2019-04-23
[7]
研磨用组合物和研磨方法 [P]. 
杉田规章 ;
松下隆幸 .
中国专利 :CN110050053B ,2019-07-23
[8]
研磨用组合物 [P]. 
杉田规章 ;
知念美佳 ;
松下隆幸 ;
松田修平 .
中国专利 :CN108350344B ,2018-07-31
[9]
研磨用组合物 [P]. 
杉田规章 ;
松田修平 ;
松下隆幸 ;
知念美佳 .
中国专利 :CN108138032A ,2018-06-08
[10]
研磨用组合物、研磨用组合物制造方法及研磨用组合物制备用试剂盒 [P]. 
土屋公亮 ;
丹所久典 ;
市坪大辉 .
中国专利 :CN105051145A ,2015-11-11
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