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一种溅射镀膜机的加热腔的冷却装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411556048.0
申请日：
2024-11-04
公开(公告)号：
CN119287327B
公开(公告)日：
2025-06-03
发明(设计)人：
请求不公布姓名 请求不公布姓名 请求不公布姓名
申请人：
苏州佑伦真空设备科技有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区阳浦路78号6号厂房
IPC主分类号：
C23C14/35
IPC分类号：
C23C14/54 C23C14/50
代理机构：
苏州视界专利代理事务所(普通合伙) 32684
代理人：
陈海霞
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省 苏州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-06-03 授权 授权
2025-01-10 公开 公开
2025-01-28 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20241104
共 50 条
[1]
一种溅射镀膜机的加热腔的冷却装置 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN119287327A ,2025-01-10
[2]
一种溅射镀膜机的加热腔的纠边装置 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN223409707U ,2025-10-03
[3]
一种溅射镀膜机的加热腔的磁流体水冷机构 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN223468439U ,2025-10-24
[4]
溅射镀膜机的加热装置 [P]. 
钱文朔 ;
刘靖 .
中国专利 :CN309211424S ,2025-04-01
[5]
一种磁控溅射镀膜机冷却装置 [P]. 
蒋贵霞 ;
贾建国 .
中国专利 :CN209338653U ,2019-09-03
[6]
一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置 [P]. 
贾玉昌 .
中国专利 :CN213113478U ,2021-05-04
[7]
一种用于溅射镀膜机的移栽机构及溅射镀膜机 [P]. 
夏伟 ;
沈聚丰 ;
李龙哲 ;
朱显君 ;
李花 ;
周征华 ;
马玉升 .
中国专利 :CN220926921U ,2024-05-10
[8]
溅射镀膜机的真空装置 [P]. 
钱文朔 ;
刘靖 .
中国专利 :CN309251821S ,2025-04-22
[9]
一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置 [P]. 
张基伟 ;
夏晓谦 .
中国专利 :CN117305791B ,2024-04-09
[10]
一种溅射镀膜机的真空装置 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN119243105A ,2025-01-03
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