一种气浮轴承的气膜间隙测量、调整装置及方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510262015.3
申请日
2025-03-06
公开(公告)号
CN120063170A
公开(公告)日
2025-05-30
发明(设计)人
霍德鸿 勾宁 刘俊良 刘延航 王菊芳
申请人
英飞纳精密设备(嘉兴)有限公司
申请人地址
314000 浙江省嘉兴市南湖区大桥镇凌公塘路3556号2号楼1层101室
IPC主分类号
G01B13/12
IPC分类号
F16C32/06
代理机构
吉林省维民知识产权代理事务所(普通合伙) 22220
代理人
朱红玲
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种气浮平台调整装置 [P]. 
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[2]
一种气膜形状主动控制的气浮轴承 [P]. 
于普良 ;
孔建益 ;
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汤勃 ;
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[3]
一种利用气浮轴承气膜厚度变化称重的装置及方法 [P]. 
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王杰 ;
林婷婷 ;
王小华 ;
印玉廷 ;
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中国专利 :CN117346868A ,2024-01-05
[4]
一种多孔介质气浮轴承的气膜厚度实时检测方法和装置 [P]. 
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李远 ;
汪涛 ;
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[5]
一种多孔介质气浮轴承的气膜厚度实时检测方法和装置 [P]. 
刘浩 ;
李远 ;
汪涛 ;
苏国康 ;
彭家万 .
中国专利 :CN117629024A ,2024-03-01
[6]
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[7]
一种气浮活塞及气浮轴承 [P]. 
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[8]
气浮主轴承载补偿装置及方法 [P]. 
王文 ;
魏珠珠 ;
杨贺 ;
卢科青 ;
陈占锋 ;
时光 ;
唐超锋 ;
裘荣波 .
中国专利 :CN109488689A ,2019-03-19
[9]
气浮主轴承载补偿装置及方法 [P]. 
王文 ;
魏珠珠 ;
杨贺 ;
卢科青 ;
陈占锋 ;
时光 ;
唐超锋 ;
裘荣波 .
中国专利 :CN109488689B ,2024-02-02
[10]
一种气浮轴承、气浮吸头及加工方法 [P]. 
郭晶莹 ;
邵旭飞 .
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