一种基于集成光波导的片上加速度计

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510016935.7
申请日
2025-01-06
公开(公告)号
CN120009569A
公开(公告)日
2025-05-16
发明(设计)人
刘泽禧 高侃 皮浩洋 孙延光 叶青
申请人
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址
201800 上海市嘉定区清河路390号
IPC主分类号
G01P15/093
IPC分类号
代理机构
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317
代理人
张宁展
法律状态
授权
国省代码
北京市
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共 50 条
[1]
一种基于集成光波导的片上加速度计 [P]. 
刘泽禧 ;
高侃 ;
皮浩洋 ;
孙延光 ;
叶青 .
中国专利 :CN120009569B ,2025-11-25
[2]
集成光波导加速度计 [P]. 
张彤 ;
薛晓军 ;
张晓阳 ;
吴朋钦 .
中国专利 :CN201382956Y ,2010-01-13
[3]
加速度计 [P]. 
多保田纯 ;
宇波俊彦 ;
井上二郎 .
中国专利 :CN1085341C ,1997-04-02
[4]
加速度计 [P]. 
R.N.比克內尔 ;
B.D.霍梅耶 .
中国专利 :CN102985832B ,2013-03-20
[5]
加速度计 [P]. 
桂德洙 .
中国专利 :CN201892685U ,2011-07-06
[6]
加速度计 [P]. 
桂德洙 .
中国专利 :CN102466735A ,2012-05-23
[7]
一种悬臂梁结构的谐振式集成光波导加速度计 [P]. 
张彤 ;
薛晓军 ;
张晓阳 ;
吴朋钦 .
中国专利 :CN101482575B ,2009-07-15
[8]
加速度计 [P]. 
罗新恒 ;
周超 ;
雷永强 .
中国专利 :CN3662563D ,2007-06-27
[9]
加速度计 [P]. 
孙洪超 ;
许澎胜 .
中国专利 :CN307033250S ,2021-12-28
[10]
加速度计 [P]. 
刘彬 ;
安力佳 .
中国专利 :CN121027562A ,2025-11-28