电子级多晶硅副产氯化氢的提纯系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202422056638.9
申请日
2024-08-23
公开(公告)号
CN222956152U
公开(公告)日
2025-06-10
发明(设计)人
王少帅 于跃 马英英 黄成 陈远新
申请人
内蒙古大全半导体有限公司
申请人地址
014000 内蒙古自治区包头市九原区哈林格尔镇九原工业园区起航大街1号
IPC主分类号
B01D53/00
IPC分类号
C01B7/07 B01D53/18 B01D53/14 B01D53/02 B01D5/00 B01D53/22 F25J3/02 F25J3/00 F25J3/08
代理机构
内蒙古欣洋瑞专利代理有限公司 15110
代理人
陈冠霖
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
多晶硅还原尾气氯化氢解吸设备以及多晶硅生产系统 [P]. 
齐婷婷 ;
刘兴平 ;
苏国良 ;
施杰 ;
黄金锋 ;
高霞 .
中国专利 :CN116177495B ,2025-09-26
[2]
回收多晶硅还原尾气中氯化氢的系统和方法 [P]. 
周立坤 ;
李西良 ;
刘兴平 ;
达伟民 ;
刘丹丹 ;
刘建海 ;
王兵 ;
侯素娟 .
中国专利 :CN119034413A ,2024-11-29
[3]
氯化氢尾气提纯电子级氯化氢和电子级氯气的装置 [P]. 
任鹏飞 ;
杨忠林 ;
黄志诚 ;
何勇 ;
杨国星 ;
吕磊 ;
廖鸿昌 .
中国专利 :CN222624090U ,2025-03-18
[4]
高纯多晶硅的提纯系统及提纯方法 [P]. 
胡建锋 ;
熊斌 ;
徐璟玉 ;
蒋君祥 ;
戴宁 ;
褚君浩 .
中国专利 :CN101824650A ,2010-09-08
[5]
甲烷氯化物副产氯化氢的提纯方法 [P]. 
吴成进 ;
邓有平 ;
王亮 .
中国专利 :CN101935020A ,2011-01-05
[6]
回收多晶硅生产的尾气中氯化氢的方法 [P]. 
马国栋 ;
耿玉侠 ;
裴艳红 ;
李强 ;
杨玉兰 ;
王兵 ;
杨光 .
中国专利 :CN101791487B ,2010-08-04
[7]
一种氯化氢净化及提纯系统 [P]. 
魏玺群 ;
李越 ;
赖易伟 ;
彭少成 .
中国专利 :CN216259894U ,2022-04-12
[8]
一种高纯氯化氢的提纯系统 [P]. 
孙博 ;
徐文佳 ;
剧国栋 ;
刘大军 ;
王宏义 .
中国专利 :CN222489537U ,2025-02-18
[9]
一种多晶硅氢气提纯系统 [P]. 
辛春红 ;
周大国 ;
陈永钢 ;
王建国 ;
张芥铭 ;
彭长春 ;
王峰 ;
龚悦 ;
郭敏 .
中国专利 :CN221287352U ,2024-07-09
[10]
一种多晶硅氯化氢尾气梯级节能回收系统 [P]. 
崔薇 ;
蒋怡 ;
张磊 ;
黄小晴 ;
何惠民 ;
王丽娜 ;
吴燕平 .
中国专利 :CN220288344U ,2024-01-02