共 50 条
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誘電体膜の特性を向上させる添加剤[ja]
被引：0
申请号：
JP20230518222
申请日：
2021-09-16
公开(公告)号：
JP2023542352A
公开(公告)日：
2023-10-06
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/312
IPC分类号：
C23C16/42
H01L21/314
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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