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一种高度监测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422201271.5
申请日：
2024-09-09
公开(公告)号：
CN223006746U
公开(公告)日：
2025-06-20
发明(设计)人：
瞿华亭
张成
周俊强
申请人：
上海光键半导体设备有限公司
申请人地址：
201906 上海市宝山区富联二路189号20幢1~3楼
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/60
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
侯素芹
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-20 | 授权 | 授权 |