保护衬底支撑件的弹性加压密封件盖带

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380079157.5

申请日：

2023-09-15

公开(公告)号：

CN120202538A

公开(公告)日：

2025-06-24

发明(设计)人：

张科党贝赫纳姆·贝赫兹罗杰·利斯洛博丹·米特罗维奇俞义轩达雷尔·埃利希王峰埃里克·萨穆隆安德拉·玉婷·陈

申请人：

朗姆研究公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/67 H01J37/32

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

樊英如;童礼翎

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-24	公开	公开
2025-07-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20230915

共 50 条

[1]

带盖的密封件 [P].

S·利勒伦德 ;

J·海堡 .

中国专利 :CN3101769D ,1999-02-10

[2]

弹性密封件 [P].

陆峰 .

中国专利 :CN205089961U ,2016-03-16

[3]

弹性密封件 [P].

叶玫缨 ;

黄河清 ;

王惠真 ;

谢宜典 .

中国专利 :CN101854047A ,2010-10-06

[4]

盖密封件 [P].

筱原健志 ;

中林贵光 ;

山冈经之介 .

中国专利 :CN110088010A ,2019-08-02

[5]

球阀弹性密封件 [P].

钱德森 .

中国专利 :CN2716607Y ,2005-08-10

[6]

弹性密封件结构 [P].

郑伟利 .

中国专利 :CN222416510U ,2025-01-28

[7]

弹性铰链密封件 [P].

戴维·迈克尔·霍特 ;

巴瓦尼·桑卡尔·特里帕蒂 .

中国专利 :CN1926364A ,2007-03-07

[8]

弹性迷宫密封件 [P].

王士平 ;

江希良 .

中国专利 :CN203847711U ,2014-09-24

[9]

支撑光源的车门密封件 [P].

L·贝佐 ;

T·霍迪斯尼 ;

S·玛丽 .

法国专利 :CN112638678B ,2024-07-09

[10]

支撑光源的车门密封件 [P].

L·贝佐 ;

T·霍迪斯尼 ;

S·玛丽 .

中国专利 :CN112638678A ,2021-04-09

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