容量結合プラズマを用いた酸化ケイ素間隙の充填[ja]

被引：0

申请号：

JP20230528613

申请日：

2021-11-12

公开(公告)号：

JP2023549528A

公开(公告)日：

2023-11-27

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/31

IPC分类号：

H01L21/316

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法律状态信息

共 50 条

[1]

隙間充填材及びそれを用いた隙間充填用ジオポリマー硬化体[ja] [P].

日本专利 :JP2025169100A ,2025-11-12

[2]

β−二酸化マンガンを用いた酸化物の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020050215A1 ,2021-09-16

[3]

ケイ素酸化物で被覆された酸化鉄粒子を含む塗布用ケイ素酸化物被覆酸化鉄組成物[ja] [P].

日本专利 :JP6083779B1 ,2017-02-22

[4]

ケイ素酸化物で被覆された酸化鉄粒子を含む塗布用ケイ素酸化物被覆酸化鉄組成物[ja] [P].

日本专利 :JP6216949B1 ,2017-10-25

[5]

ＲＦプラズマを使用したガラス材料の溶融[ja] [P].

日本专利 :JP2016536243A ,2016-11-24

[6]

選択的金属間隙充填のためのマルチステップ前洗浄[ja] [P].

日本专利 :JP2023515750A ,2023-04-14

[7]

共晶複合材料形成のための、金属酸化物のケイ素熱還元[ja] [P].

日本专利 :JP2015518812A ,2015-07-06

[8]

ラムズデライト型結晶構造を有したナノメートルサイズの二酸化マンガンを合成する方法、二酸化マンガンを用いて水酸化物イオン起源のプロトン、電子および酸素を生成する方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2011118816A1 ,2013-07-04

[9]

ラムズデライト型結晶構造を有したナノメートルサイズの二酸化マンガンを合成する方法、二酸化マンガンを用いて水酸化物イオン起源のプロトン、電子および酸素を生成する方法[ja] [P].

日本专利 :JP5692821B2 ,2015-04-01

[10]

マイクロ波を用いた不純物ドープ金属酸化物の製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009107681A1 ,2011-08-04

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