静电吸附装置用电源、静电吸附装置及脱离吸附控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080097843.1

申请日：

2020-12-23

公开(公告)号：

CN115210858B

公开(公告)日：

2025-06-24

发明(设计)人：

土屋贵裕

申请人：

浜松光子学株式会社

申请人地址：

日本静冈县

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H02N13/00

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

杨琦

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-24	授权	授权

共 50 条

[1]

静电吸附装置 [P].

石宇森 .

中国专利 :CN1994839A ,2007-07-11

[2]

静电吸附装置 [P].

徐绍宸 ;

李富海 ;

鲍晓亮 ;

蒉张涛 ;

魏继江 .

中国专利 :CN211890875U ,2020-11-10

[3]

静电吸附装置 [P].

张生 ;

方青 ;

王宁威 ;

邢俊杰 ;

林清俊 ;

李晓东 ;

康钊 .

中国专利 :CN203063009U ,2013-07-17

[4]

静电吸附装置 [P].

杨新林 .

中国专利 :CN217747496U ,2022-11-08

[5]

静电吸附装置 [P].

张生 ;

方青 ;

王宁威 ;

邢俊杰 ;

林清俊 ;

李晓东 ;

康钊 .

中国专利 :CN203063010U ,2013-07-17

[6]

静电吸附装置 [P].

韩平 ;

潘立刚 ;

马智宏 ;

陆安祥 ;

王纪华 ;

张睿 .

中国专利 :CN201628652U ,2010-11-10

[7]

静电吸附装置 [P].

郑玮斌 ;

王健 ;

詹智健 ;

吴长明 .

中国专利 :CN103871943A ,2014-06-18

[8]

静电吸附装置 [P].

姚恒山 ;

姜玮 ;

沈子扬 ;

付大勇 ;

孟光辉 .

中国专利 :CN222813577U ,2025-04-29

[9]

静电吸附装置 [P].

王健 .

中国专利 :CN203791055U ,2014-08-27

[10]

静电吸附装置 [P].

狩野正树 ;

山村和市 .

中国专利 :CN100490110C ,2007-11-28

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