微反射镜阵列

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080058778.1

申请日：

2020-08-05

公开(公告)号：

CN114402261B

公开(公告)日：

2025-06-13

发明(设计)人：

L·R·S·哈斯普斯劳格 V·罗切斯 G·布兰达尼·托里 N·潘迪 S·A·戈登

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G02B26/08

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

赵林琳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-13	授权	授权

共 50 条

[1]

微反射镜阵列 [P].

L·R·S·哈斯普斯劳格 ;

V·罗切斯 ;

G·布兰达尼·托里 ;

A·哈尔巴赫 ;

N·潘迪 ;

S·A·戈登 .

:CN114341700B ,2024-08-09

[2]

微反射镜阵列 [P].

L·R·S·哈斯普斯劳格 ;

V·罗切斯 ;

G·布兰达尼·托里 ;

A·哈尔巴赫 ;

N·潘迪 ;

S·A·戈登 .

中国专利 :CN114341700A ,2022-04-12

[3]

用于微反射镜阵列的反射镜组件 [P].

P·P·波利瓦斯 ;

W·E·恩登迪基克 .

:CN119053915A ,2024-11-29

[4]

微反射镜阵列设计方法、系统及微反射镜阵列 [P].

袁艳 ;

丁晓铭 ;

苏丽娟 ;

王婉悦 .

中国专利 :CN106154379A ,2016-11-23

[5]

微反射镜阵列制造方法 [P].

徐永青 ;

杨拥军 ;

李艳丽 .

中国专利 :CN101718906A ,2010-06-02

[6]

反射镜阵列 [P].

S.瓦尔迪斯 ;

S.拉尼 ;

B.克瑙夫 ;

J.邓 ;

R.M.博斯托克 .

中国专利 :CN103547955A ,2014-01-29

[7]

反射镜阵列 [P].

M·M·L·施特格侯 ;

刚天 ;

M·尤塞菲莫格哈德丹 .

中国专利 :CN110520799B ,2019-11-29

[8]

二轴反射镜选色微反射镜成像器 [P].

约翰·B·乔治 .

中国专利 :CN101652697A ,2010-02-17

[9]

基于微反射镜阵列的激光雷达系统 [P].

邹溪 ;

肖伟 ;

张帅 ;

陈杰 .

中国专利 :CN215264016U ,2021-12-21

[10]

微反射镜阵列波前传感装置及方法 [P].

刘维 ;

黄大年 ;

姚凯男 ;

于平 ;

于显利 ;

曹景太 ;

吕耀文 ;

肖丽 ;

孙煦 ;

刘佳琳 .

中国专利 :CN106788716A ,2017-05-31

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