一种像差矫正反射镜装置、像差矫正系统及方法

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专利类型
发明
申请号
CN202510313899.0
申请日
2025-03-17
公开(公告)号
CN120164768A
公开(公告)日
2025-06-17
发明(设计)人
万唯实
申请人
粤港澳大湾区(广东)量子科学中心
申请人地址
518045 广东省深圳市福田区槟榔道3号深港国际科技园A栋
IPC主分类号
H01J37/153
IPC分类号
代理机构
深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268
代理人
方金芝;王永文
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种像差矫正器件 [P]. 
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[2]
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[3]
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刘俭 ;
赵唯松 ;
陈刚 ;
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[4]
共焦显微镜模式像差矫正方法 [P]. 
刘辰光 ;
刘俭 ;
赵唯松 ;
谭久彬 .
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[5]
共焦显微镜模式像差矫正方法 [P]. 
刘辰光 ;
刘俭 ;
赵唯松 ;
陈刚 ;
谭久彬 .
中国专利 :CN108088653A ,2018-05-29
[6]
共焦显微镜模式像差矫正方法 [P]. 
刘辰光 ;
刘俭 ;
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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