一种降低大尺寸单晶晶棒内应力的拉晶方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510383338.8

申请日：

2025-03-28

公开(公告)号：

CN120138783A

公开(公告)日：

2025-06-13

发明(设计)人：

郭可高烨胡晓亮邵奇马三宝

申请人：

麦斯克电子材料股份有限公司

申请人地址：

471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号北侧洛阳综合保税区

IPC主分类号：

C30B15/20

IPC分类号：

C30B29/06

代理机构：

洛阳九创知识产权代理事务所(普通合伙) 41156

代理人：

张龙

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

河北省保定市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 15/20申请日:20250328
2025-06-13	公开	公开

共 50 条

[1]

降低晶棒内应力的方法 [P].

武文元 ;

丁亚国 ;

吴悦 ;

张晓明 ;

杨文平 .

中国专利 :CN120311313A ,2025-07-15

[2]

降低单晶晶棒气孔率的拉晶方法 [P].

刘洁 ;

马成 ;

芮阳 ;

王忠保 ;

徐慶晧 ;

王黎光 ;

曹启刚 .

中国专利 :CN117587495A ,2024-02-23

[3]

一种减少单晶棒内应力的方法和装置 [P].

郑智雄 ;

南毅 ;

张伟娜 ;

汪健 ;

林霞 ;

胡满根 .

中国专利 :CN101713100A ,2010-05-26

[4]

一种降低非晶铁芯内应力的固化方法 [P].

高学绪 ;

牟星 ;

包小倩 ;

李纪恒 .

中国专利 :CN106128746B ,2016-11-16

[5]

一种降低大直径SiC单晶内应力的炉后退火方法 [P].

杨昆 ;

杨继胜 ;

高宇 ;

郑清超 .

中国专利 :CN106480504A ,2017-03-08

[6]

一种降低波纹管内应力的方法 [P].

张燕 ;

韩蓬磊 ;

李勉 .

中国专利 :CN106755943B ,2017-05-31

[7]

一种减少内应力的晶圆切割方法 [P].

宿志影 .

中国专利 :CN112349582A ,2021-02-09

[8]

一种减少内应力的晶圆切割方法 [P].

宿志影 .

中国专利 :CN112349582B ,2024-09-06

[9]

一种去内应力拉矫机 [P].

潘大硕 ;

林国栋 ;

赵佳琪 .

中国专利 :CN215785810U ,2022-02-11

[10]

一种降低竹筒填充空心板内应力的方法 [P].

吴水根 ;

沈钰程 ;

李想军 ;

王梦宇 ;

张相云 ;

张辉 ;

刘志坤 .

中国专利 :CN118636252A ,2024-09-13

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