光罩吹扫系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421609705.9

申请日：

2024-07-08

公开(公告)号：

CN223092291U

公开(公告)日：

2025-07-11

发明(设计)人：

吴建明刘攀周国栋

申请人：

浙江创芯集成电路有限公司

申请人地址：

311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号

IPC主分类号：

G03F1/82

IPC分类号：

B08B5/02 B08B13/00

代理机构：

上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327

代理人：

潘彦君

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-11	授权	授权

共 50 条

[1]

吹扫罩结构及吹扫罩装置 [P].

庞才伟 ;

黎佐兴 ;

黄承语 ;

张晓军 ;

袁明 ;

朱新华 .

中国专利 :CN223056305U ,2025-07-04

[2]

自动吹扫系统 [P].

张建伟 ;

王慧琴 ;

刘永隆 ;

王腾 ;

王晓丽 ;

林蔚丞 ;

林家泰 .

中国专利 :CN205851488U ,2017-01-04

[3]

吹扫系统 [P].

和田快也 ;

伊藤靖久 .

日本专利 :CN117882182A ,2024-04-12

[4]

一种光罩吹扫装置 [P].

马如贵 .

中国专利 :CN220547395U ,2024-03-01

[5]

吹扫装置及自动吹扫系统 [P].

王帅 ;

朱雷 ;

胡耀明 ;

黄序榕 ;

谭国民 ;

张廷进 ;

刘红刚 ;

龚锋杰 .

中国专利 :CN209349191U ,2019-09-06

[6]

冷轧罩式退火炉吹扫系统 [P].

李谦 ;

陆聪 ;

赵干波 ;

韦肖文 ;

代永贵 ;

周凌剑 ;

陆长春 .

中国专利 :CN211112136U ,2020-07-28

[7]

一种吹扫系统 [P].

童保国 ;

邹文君 ;

翁鹏程 ;

王朴方 ;

李智 ;

黄腾达 .

中国专利 :CN221041180U ,2024-05-28

[8]

燃料吹扫系统 [P].

K.E.塞尔弗里奇 ;

D.F.比迪 ;

张华 .

中国专利 :CN205746974U ,2016-11-30

[9]

管路吹扫系统 [P].

况开锋 ;

施海涛 ;

徐小艳 ;

陈露 ;

邱国洪 ;

吴志燕 ;

顾枫 ;

封晓华 ;

许文杰 ;

沈益 ;

范仲辉 ;

李新明 ;

于洪霞 .

中国专利 :CN204866752U ,2015-12-16

[10]

自动吹扫系统 [P].

张建伟 ;

王慧琴 ;

刘永隆 ;

王腾 ;

王晓丽 ;

林蔚丞 ;

林家泰 .

中国专利 :CN106391575A ,2017-02-15

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