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一种铝钪合金靶材及其制备方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202510563366.8
申请日
:
2025-04-30
公开(公告)号
:
CN120311147A
公开(公告)日
:
2025-07-15
发明(设计)人
:
姜锋
姚名洁
龙梦君
吴飞飞
申请人
:
中南大学
申请人地址
:
410083 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号
IPC主分类号
:
C23C14/34
IPC分类号
:
C22C1/02
C22C21/00
C22C28/00
C22F1/04
C22F1/16
B21B3/00
代理机构
:
长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114
代理人
:
曾九莲
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
湖南省 长沙市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-08-01
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20250430
2025-07-15
公开
公开
共 50 条
[1]
一种铝钪合金靶材及其制备方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
潘杰
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潘杰
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王学泽
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王学泽
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周友平
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周友平
;
廖培君
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廖培君
;
陈石
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陈石
;
沈学峰
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沈学峰
.
中国专利
:CN114774865A
,2022-07-22
[2]
铝钪合金靶材及其制备方法
[P].
黄培
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黄培
;
黄美松
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黄美松
;
王志坚
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王志坚
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刘华
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刘华
;
邓月华
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邓月华
;
马小波
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马小波
;
文康
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文康
;
刘维
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刘维
.
中国专利
:CN111455223A
,2020-07-28
[3]
一种高钪铝钪合金靶材及其制备方法
[P].
葛春桥
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中山智隆新材料科技有限公司
中山智隆新材料科技有限公司
葛春桥
;
陈露
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中山智隆新材料科技有限公司
中山智隆新材料科技有限公司
陈露
;
李强
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中山智隆新材料科技有限公司
中山智隆新材料科技有限公司
李强
;
钟威平
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中山智隆新材料科技有限公司
中山智隆新材料科技有限公司
钟威平
.
中国专利
:CN118109707A
,2024-05-31
[4]
一种铝钪合金靶材及其制备方法
[P].
冉成义
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先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
冉成义
;
蔡新志
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先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
蔡新志
;
童培云
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先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
童培云
;
欧好运
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先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
欧好运
.
中国专利
:CN119640070B
,2025-11-28
[5]
一种铝钪合金靶材及其制备方法
[P].
冉成义
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先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
冉成义
;
蔡新志
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先导薄膜材料(广东)有限公司
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蔡新志
;
童培云
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先导薄膜材料(广东)有限公司
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童培云
;
欧好运
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机构:
先导薄膜材料(广东)有限公司
先导薄膜材料(广东)有限公司
欧好运
.
中国专利
:CN119640070A
,2025-03-18
[6]
高钪含量铝钪合金靶材及其制备方法
[P].
刘华
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刘华
;
黄美松
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黄美松
;
樊玉川
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樊玉川
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王志坚
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王志坚
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贾帅广
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贾帅广
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傅臻
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傅臻
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姚茂海
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姚茂海
;
杨露辉
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杨露辉
.
中国专利
:CN111455327B
,2020-07-28
[7]
铝钪合金靶材的制备方法
[P].
周贤界
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周贤界
;
黄勇彪
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黄勇彪
.
中国专利
:CN112548069B
,2021-03-26
[8]
铝钪合金靶材制备方法
[P].
余鹏
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余鹏
;
宋觉敏
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宋觉敏
.
中国专利
:CN108441827A
,2018-08-24
[9]
一种铝钪合金靶材及其制备方法与应用
[P].
吴道高
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吴道高
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陈德宏
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陈德宏
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王志强
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王志强
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庞思明
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庞思明
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徐明磊
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徐明磊
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钟嘉珉
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钟嘉珉
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钟强
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钟强
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王育民
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王育民
;
程军
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程军
.
中国专利
:CN112725745A
,2021-04-30
[10]
一种铝钪合金靶材的制备工艺
[P].
程银兵
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程银兵
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顾宗慧
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顾宗慧
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庄志杰
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庄志杰
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诸斌
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诸斌
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中国专利
:CN115595540A
,2023-01-13
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