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真空吸附组件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510342884.7
申请日：
2025-03-21
公开(公告)号：
CN120261375A
公开(公告)日：
2025-07-04
发明(设计)人：
姜财贵
祝建敏
王双玉
葛自荣
密思
申请人：
杭州盾源聚芯半导体科技有限公司
申请人地址：
310051 浙江省杭州市滨江区滨康路668号C幢
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
杭州信与义专利代理有限公司 33450
代理人：
马育妙
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
浙江省
杭州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20250321 |
| 2025-07-04 | 公开 | 公开 |