一种坩埚及蒸发镀膜装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422357522.9

申请日：

2024-09-26

公开(公告)号：

CN223061060U

公开(公告)日：

2025-07-04

发明(设计)人：

于钦芳罗万里

申请人：

深圳劲嘉聚能科技有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区燕罗街道燕川社区燕山大道6-6号制版中心601

IPC主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/56

代理机构：

广东良马律师事务所 44395

代理人：

刘海杰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-04	授权	授权

共 50 条

[1]

蒸发源装置及蒸发镀膜设备 [P].

李建 .

中国专利 :CN206438173U ,2017-08-25

[2]

一种蒸发镀膜设备及蒸发镀膜挡板 [P].

熊继光 ;

李卫东 ;

赵志国 ;

刘家梁 ;

李梦洁 ;

赵东明 ;

秦校军 ;

董超 ;

夏渊 ;

文军 ;

汪强 ;

丁坤 .

中国专利 :CN215668183U ,2022-01-28

[3]

一种用于蒸发镀膜的蒸发源引导机构和蒸发镀膜装置 [P].

臧世伟 ;

王超 .

中国专利 :CN222008002U ,2024-11-15

[4]

一种坩埚及电子束蒸发镀膜系统 [P].

蔡永安 ;

杨凯 ;

黄涛 ;

方同乐 .

中国专利 :CN222274666U ,2024-12-31

[5]

一种电阻蒸发镀膜设备及蒸发镀膜方法 [P].

杜鸿基 ;

陈亮 .

中国专利 :CN117127146B ,2025-12-26

[6]

一种电子束辅助加热蒸发镀膜坩埚 [P].

林鸳 ;

羊彦 ;

胡玮霖 ;

刘军 ;

石文旭 ;

钱亮亮 ;

吴晓凯 .

中国专利 :CN220724314U ,2024-04-05

[7]

一种蒸发镀膜装置 [P].

陈腾 ;

王雪戈 .

中国专利 :CN207987320U ,2018-10-19

[8]

一种蒸发镀膜装置 [P].

陈自新 ;

朱海锋 ;

王雨 ;

蒋慧 .

中国专利 :CN220597617U ,2024-03-15

[9]

一种蒸发镀膜装置 [P].

臧伟 ;

罗能铁 .

中国专利 :CN220952006U ,2024-05-14

[10]

一种蒸发镀膜装置 [P].

张秀明 ;

张贻海 ;

李剑 ;

王丽娟 ;

孟凡华 .

中国专利 :CN216614823U ,2022-05-27

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