耦合双联抽真空装置及抽真空方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202211384734.5
申请日
2022-11-07
公开(公告)号
CN115614250B
公开(公告)日
2025-07-04
发明(设计)人
贺鸿发 张世源 傅庆源
申请人
广东安达智能装备股份有限公司
申请人地址
523000 广东省东莞市寮步镇向西东区路17号
IPC主分类号
F04B37/14
IPC分类号
F04B27/00 F04B27/02 F04B39/00
代理机构
深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504
代理人
陈双喜
法律状态
授权
国省代码
广东省 东莞市
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共 50 条
[1]
耦合双联抽真空装置及抽真空方法 [P]. 
贺鸿发 ;
张世源 ;
傅庆源 .
中国专利 :CN115614250A ,2023-01-17
[2]
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[6]
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