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重载位移调节机构
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311824375.5
申请日：
2023-12-27
公开(公告)号：
CN120215213A
公开(公告)日：
2025-06-27
发明(设计)人：
黄征
申请人：
光科芯图（北京）科技有限公司
申请人地址：
102399 北京市大兴区荣华中路22号院1号楼31层3101
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
H01L21/67
G02B13/00
G02B27/62
代理机构：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人：
李芃和
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-27 | 公开 | 公开 |
| 2025-09-09 | 授权 | 授权 |
| 2025-07-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20231227 |