一种硅片快速检测装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN202422117834.2
申请日
2024-08-30
公开(公告)号
CN223051301U
公开(公告)日
2025-07-01
发明(设计)人
程文娟 张光展 李中亮
申请人
青岛金汇源电子有限公司
申请人地址
266400 山东省青岛市黄岛区滨海大道南山川路东(黄岛区委党校)
IPC主分类号
G01N33/00
IPC分类号
代理机构
山东迅尔知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 37445
代理人
黄小宏
法律状态
授权
国省代码
山东省 青岛市
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共 50 条
[1]
一种插片机用硅片快速检测装置 [P]. 
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[10]
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