掩模版检测方法、装置、设备以及存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410960697.0

申请日：

2024-07-17

公开(公告)号：

CN118961744B

公开(公告)日：

2025-07-04

发明(设计)人：

杨勤丰何俊龙张锋廖文超张启顺

申请人：

珠海市龙图光罩科技有限公司

申请人地址：

519000 广东省珠海市高新区科新二路130号6栋

IPC主分类号：

G01N21/95

IPC分类号：

G01N21/59 G01N21/55 G01N21/01 G06T7/00 G06T7/11 G06T7/136

代理机构：

深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542

代理人：

张群

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-04	授权	授权
2024-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/95申请日:20240717
2024-11-15	公开	公开

共 50 条

[1]

掩模版检测方法、装置、设备以及存储介质 [P].

杨勤丰 ;

何俊龙 ;

张锋 ;

廖文超 ;

张启顺 .

中国专利 :CN118961744A ,2024-11-15

[2]

掩模版刻蚀方法、装置、设备以及存储介质 [P].

雷健 ;

黄执祥 ;

王栋 ;

白永智 ;

柯汉奇 .

中国专利 :CN118363258A ,2024-07-19

[3]

掩模版刻蚀方法、装置、设备以及存储介质 [P].

雷健 ;

黄执祥 ;

王栋 ;

白永智 ;

柯汉奇 .

中国专利 :CN118363258B ,2024-09-20

[4]

掩模版清洗方法、装置、设备、存储介质及产品 [P].

雷健 ;

谢超 ;

侯广杰 ;

刘传龙 .

中国专利 :CN119187111B ,2025-09-09

[5]

掩模版清洗方法、装置、设备、存储介质及产品 [P].

雷健 ;

谢超 ;

侯广杰 ;

刘传龙 .

中国专利 :CN119187111A ,2024-12-27

[6]

掩模版修补方法及装置、掩模版修补控制设备和存储介质 [P].

高翌 ;

张哲伟 ;

林锦鸿 ;

王梅侠 ;

朱佳楠 .

中国专利 :CN113985696A ,2022-01-28

[7]

掩模版修补方法及装置、掩模版修补控制设备和存储介质 [P].

高翌 ;

张哲玮 ;

林锦鸿 ;

王梅侠 ;

朱佳楠 .

中国专利 :CN113985696B ,2024-07-19

[8]

掩模版缺陷检测方法、装置、电子设备及存储介质 [P].

杨朝兴 .

中国专利 :CN114881990B ,2025-10-31

[9]

掩模版缺陷检测方法、装置、电子设备及存储介质 [P].

杨朝兴 .

中国专利 :CN114881990A ,2022-08-09

[10]

掩模版清洗方法、装置、终端设备以及存储介质 [P].

王栋 ;

黄执祥 ;

白永智 ;

何俊龙 ;

郑祺弘 .

中国专利 :CN117644074A ,2024-03-05

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