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基板加工装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411952705.3
申请日：
2024-12-27
公开(公告)号：
CN120221447A
公开(公告)日：
2025-06-27
发明(设计)人：
郑映大 金泰信 曹洗澧曜汉 朴炯洙 崔基熏
申请人：
细美事有限公司
申请人地址：
韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：
张瑾
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-06-27 公开 公开
共 50 条
[1]
基板加工方法和基板加工装置 [P]. 
金泰信 ;
曹洗澧曜汉 ;
郑映大 ;
吴承彦 ;
尹铉 ;
赵裕珍 ;
崔基熏 .
韩国专利 :CN120221403A ,2025-06-27
[2]
基板加工方法和基板加工装置 [P]. 
金泰信 ;
郑映大 ;
权钟完 ;
徐政业 .
韩国专利 :CN120656966A ,2025-09-16
[3]
基板加工装置及基板加工方法 [P]. 
堀田慎 .
中国专利 :CN1739903A ,2006-03-01
[4]
基板加工装置 [P]. 
金仁敎 ;
李大贤 ;
任兴均 ;
郑石源 ;
朱儇佑 .
韩国专利 :CN220569632U ,2024-03-08
[5]
基板加工装置 [P]. 
高松生芳 .
中国专利 :CN108274445A ,2018-07-13
[6]
基板加工装置 [P]. 
李钟斗 ;
崔泰钟 ;
宋珠燕 ;
李相旼 .
韩国专利 :CN118263157A ,2024-06-28
[7]
基板加工装置 [P]. 
韩基元 ;
徐准浩 .
韩国专利 :CN118280816A ,2024-07-02
[8]
基板加工装置 [P]. 
冈本典彦 .
中国专利 :CN112045518A ,2020-12-08
[9]
基板加工装置 [P]. 
金仁敎 ;
李大贤 ;
任兴均 ;
郑石源 ;
朱儇佑 .
韩国专利 :CN117423597A ,2024-01-19
[10]
基板加工装置 [P]. 
金钟相 ;
卢光硕 .
中国专利 :CN209567995U ,2019-11-01
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