一种多自由度镀膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510634626.6

申请日：

2025-05-16

公开(公告)号：

CN120210756A

公开(公告)日：

2025-06-27

发明(设计)人：

魏先进聂伟华党志泉

申请人：

江苏先导微电子科技有限公司

申请人地址：

221116 江苏省徐州市徐州高新技术产业开发区先导南路2号

IPC主分类号：

C23C14/50

IPC分类号：

C23C14/54

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

唐文赞

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省徐州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-27	公开	公开
2025-07-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/50申请日:20250516

共 50 条

[1]

一种多自由度可调搅拌装置 [P].

任家隆 ;

吴爱胜 ;

吴宏伟 ;

连立麟 ;

宋刚 ;

章珈彬 ;

胡小康 ;

严帅 .

中国专利 :CN103191665B ,2013-07-10

[2]

多自由度导向机构和多自由度导向装置 [P].

周啸波 .

中国专利 :CN117940253A ,2024-04-26

[3]

多自由度牵引装置 [P].

张堃 ;

程慷慨 ;

谭俊良 .

中国专利 :CN106507744B ,2012-05-16

[4]

多自由度清洁装置 [P].

孙振华 ;

卢秋红 ;

王文纪 .

中国专利 :CN118617435A ,2024-09-10

[5]

多自由度升降装置 [P].

刘臣才 ;

张文 ;

束永平 .

中国专利 :CN202848972U ,2013-04-03

[6]

多自由度连接装置 [P].

徐良 ;

曾山 ;

张佩 .

中国专利 :CN202818909U ,2013-03-27

[7]

多自由度引入装置 [P].

程伟 ;

王磊 ;

佃松宜 ;

朱明江 ;

刘航 ;

金成毅 ;

谢静 .

中国专利 :CN117584171A ,2024-02-23

[8]

多自由度调节装置 [P].

张力 ;

高须俊 ;

华宏伟 .

中国专利 :CN202716171U ,2013-02-06

[9]

多自由度旋转装置 [P].

徐文刚 .

中国专利 :CN201529980U ,2010-07-21

[10]

多自由度调节装置 [P].

何哲 ;

张科鹏 .

中国专利 :CN222650960U ,2025-03-21

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