一种紫外光刻物镜及光刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422320593.1

申请日：

2024-09-23

公开(公告)号：

CN223078538U

公开(公告)日：

2025-07-08

发明(设计)人：

樊凯朱红伟邱盛平

申请人：

成都联江科技有限公司

申请人地址：

610000 四川省成都市中国(四川)自由贸易试验区成都市双流区西南航空港经济开发区黄甲街道双兴大道1号

IPC主分类号：

G02B13/14

IPC分类号：

G02B13/00 G03F7/20

代理机构：

深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287

代理人：

雷景怡

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省徐州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种紫外光刻物镜及光刻机 [P].

樊凯 ;

朱红伟 ;

邱盛平 .

中国专利 :CN118981098A ,2024-11-19

[2]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN115542676A ,2022-12-30

[3]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN115542675A ,2022-12-30

[4]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN115542676B ,2025-09-23

[5]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN115542675B ,2025-08-12

[6]

紫外光刻镜头以及光刻机 [P].

兰洋 ;

朱红伟 ;

邱盛平 .

中国专利 :CN223308543U ,2025-09-05

[7]

紫外光刻镜头以及光刻机 [P].

兰洋 ;

朱红伟 ;

邱盛平 .

中国专利 :CN223308544U ,2025-09-05

[8]

投影光刻物镜及光刻机 [P].

郭银章 .

中国专利 :CN117369084A ,2024-01-09

[9]

一种紫外光刻机 [P].

陈杰相 .

中国专利 :CN214670080U ,2021-11-09

[10]

一种紫外光刻镜头和光刻机 [P].

陈劲松 ;

朱红伟 ;

邱盛平 .

中国专利 :CN221883995U ,2024-10-22

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