一种激光干涉位移测量装置及其使用方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010113765.1

申请日：

2020-02-24

公开(公告)号：

CN111174694B

公开(公告)日：

2025-07-11

发明(设计)人：

高洋刘锋

申请人：

山西大威激光科技有限公司

申请人地址：

030046 山西省太原市综改示范区太原阳曲园区锦绣大街小微企业园二期5-1号厂房一层

IPC主分类号：

G01B9/02001

IPC分类号：

G01B11/02 G01B9/02015

代理机构：

南京司南专利代理事务所(普通合伙) 32431

代理人：

邓细波

法律状态：

授权

国省代码：

山西省太原市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-11	授权	授权
2025-07-01	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移IPC(主分类):G01B 9/02登记生效日:20250616变更事项:申请人变更前权利人:北方民族大学变更后权利人:山西大威激光科技有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:750030 宁夏回族自治区银川市西夏区文昌北街204号变更后权利人:030046 山西省太原市综改示范区太原阳曲园区锦绣大街小微企业园二期5-1号厂房一层

共 50 条

[1]

一种激光干涉位移测量装置及其使用方法 [P].

高洋 ;

刘锋 .

中国专利 :CN111174694A ,2020-05-19

[2]

一种激光干涉位移测量装置 [P].

高洋 ;

刘锋 .

中国专利 :CN211317207U ,2020-08-21

[3]

一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置及其使用方法 [P].

高洋 ;

刘锋 .

中国专利 :CN111121983A ,2020-05-08

[4]

一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置及其使用方法 [P].

高洋 ;

刘锋 .

中国专利 :CN111121983B ,2025-05-02

[5]

一种激光干涉位移测量系统 [P].

刘晓军 ;

李千 ;

赵昊 .

中国专利 :CN105004273A ,2015-10-28

[6]

激光线阵位移测量装置及其使用方法 [P].

李华丰 ;

何潇 ;

李福亮 ;

李建锋 ;

张娟 ;

李振锋 .

中国专利 :CN107655451A ,2018-02-02

[7]

用于激光干涉光刻系统的相位测量装置及其使用方法 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

张鸣 ;

徐继涛 ;

成荣 ;

郝建坤 ;

李鑫 ;

杨开明 ;

范玉娇 ;

高思齐 .

中国专利 :CN110837213A ,2020-02-25

[8]

干涉式位移测量装置 [P].

阿米恩·赖希奥尔德 ;

彼得·丘 ;

赵崧源 ;

埃德加·布鲁克 .

英国专利 :CN117677817A ,2024-03-08

[9]

角度补偿式激光外差干涉位移测量装置及方法 [P].

张恩政 ;

陈本永 .

中国专利 :CN107255451A ,2017-10-17

[10]

一种基于干涉方式的激光波长测量装置与方法 [P].

赵虎 ;

毛建东 ;

周春艳 ;

张白 .

中国专利 :CN110779629A ,2020-02-11

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