芬顿试剂、抛光液、金刚石衬底的抛光方法以及金刚石抛光片

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510773106.3

申请日：

2025-06-11

公开(公告)号：

CN120290108A

公开(公告)日：

2025-07-11

发明(设计)人：

薛芳刘泳沣寇明虎

申请人：

北京特思迪半导体设备有限公司

申请人地址：

101300 北京市顺义区杜杨北街3号院6号楼（顺创）

IPC主分类号：

C09G1/02

IPC分类号：

B24B1/00 B24B29/02 B24B49/00

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-11	公开	公开
2025-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C09G 1/02申请日:20250611

共 50 条

[1]

一种金刚石用抛光液及金刚石衬底的抛光方法 [P].

王旗 ;

王立凤 ;

刘硕 ;

朱灿 ;

马立兴 ;

宋猛 ;

李硕 ;

邵殿领 ;

李印 ;

隋晓明 .

中国专利 :CN118165653B ,2024-07-19

[2]

一种金刚石用抛光液及金刚石衬底的抛光方法 [P].

王旗 ;

王立凤 ;

刘硕 ;

朱灿 ;

马立兴 ;

宋猛 ;

李硕 ;

邵殿领 ;

李印 ;

隋晓明 .

中国专利 :CN118165653A ,2024-06-11

[3]

金刚石抛光方法和金刚石抛光系统 [P].

邬苏东 ;

欧正雄 ;

夏岳 ;

岳龙 ;

孔祥鹏 ;

潘鲁辉 .

中国专利 :CN120862088A ,2025-10-31

[4]

一种改性纳米金刚石及其抛光液和抛光片 [P].

苑亚斐 ;

许亚杰 .

中国专利 :CN104610784B ,2015-05-13

[5]

金刚石抛光液及其制备方法 [P].

黄永庆 ;

杨莹 ;

张迪 ;

陈文荣 .

中国专利 :CN109593472A ,2019-04-09

[6]

金刚石抛光液及其制备方法 [P].

宋慧 ;

袁泽 ;

孙华英 ;

王海军 .

中国专利 :CN115305013A ,2022-11-08

[7]

金刚石用抛光液及金刚石化学机械抛光方法 [P].

张国庆 ;

张嘉宝 ;

许泽江 ;

宋磊 .

中国专利 :CN119307184A ,2025-01-14

[8]

一种金刚石抛光液 [P].

沈水平 .

中国专利 :CN107043600A ,2017-08-15

[9]

一种金刚石抛光方法、金刚石及其抛光设备 [P].

邓辉 ;

李昕宇 ;

何铨鹏 ;

王银惠 ;

赵公魄 ;

丁雪苗 .

中国专利 :CN118952006A ,2024-11-15

[10]

金刚石抛光夹具及抛光方法 [P].

马孟宇 ;

蔚翠 ;

何泽召 ;

刘庆彬 ;

周闯杰 ;

刘煜东 ;

冯志红 .

中国专利 :CN118927146A ,2024-11-12

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