基于图像特征的硅片质量评估方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411931273.8

申请日：

2024-12-26

公开(公告)号：

CN119381280B

公开(公告)日：

2025-07-18

发明(设计)人：

雷金澌付成辛刁睿杨伟杨金峰

申请人：

浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司

申请人地址：

323000 浙江省丽水市莲都区南明山街道成大街618号

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

G06T7/00 G06T7/13 G06T7/62 G06V10/25 G06V10/54 G06V10/771 G06V10/82 G06N3/0464 G06N3/084 G01D21/02

代理机构：

丽水浙源知识产权代理有限公司 33616

代理人：

吴斌林

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

浙江省丽水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20241226
2025-07-18	授权	授权
2025-01-28	公开	公开

共 50 条

[1]

基于图像特征的硅片质量评估方法 [P].

雷金澌 ;

付成辛 ;

刁睿 ;

杨伟 ;

杨金峰 .

中国专利 :CN119381280A ,2025-01-28

[2]

基于深度学习和特征融合的舌图像质量评估方法及系统 [P].

崔曼曼 ;

张腾达 ;

张洪来 ;

陈慧仪 .

中国专利 :CN117333703A ,2024-01-02

[3]

硅片质量监测分选系统及方法、硅锭质量评估方法 [P].

张璐 ;

马波波 ;

张旭宁 ;

陈剑辉 ;

张小升 ;

张薇 .

中国专利 :CN118594983A ,2024-09-06

[4]

图像特征的质量评估方法、设备及存储介质 [P].

葛主贝 ;

葛良平 ;

郝敬松 ;

朱树磊 ;

殷俊 .

中国专利 :CN119445341A ,2025-02-14

[5]

图像特征的质量评估方法、设备及存储介质 [P].

葛主贝 ;

葛良平 ;

郝敬松 ;

朱树磊 ;

殷俊 .

中国专利 :CN119445341B ,2025-04-25

[6]

一种基于图像数字特征分布的生成熔池图像质量评估方法 [P].

谢非 ;

施梦臣 ;

凌旭 ;

杨继全 ;

邢飞 ;

锁红波 ;

李宗安 ;

唐文来 ;

史建军 ;

刘益剑 .

中国专利 :CN113240668B ,2024-04-16

[7]

一种基于图像数字特征分布的生成熔池图像质量评估方法 [P].

谢非 ;

施梦臣 ;

凌旭 ;

杨继全 ;

邢飞 ;

锁红波 ;

李宗安 ;

唐文来 ;

史建军 ;

刘益剑 .

中国专利 :CN113240668A ,2021-08-10

[8]

基于纹理特征和结构相似度的SAR图像质量评估方法 [P].

候彪 ;

焦李成 ;

鞠贵林 ;

王爽 ;

张向荣 ;

马文萍 ;

马晶晶 .

中国专利 :CN105931257A ,2016-09-07

[9]

基于边缘特征引导的无参考屏幕内容图像质量评估方法 [P].

陈羽中 ;

陈友昆 ;

牛玉贞 ;

何玉琦 .

中国专利 :CN115797304B ,2025-07-04

[10]

基于特征融合的自监督无参考图像质量评估方法及设备 [P].

魏龙生 ;

黄浩宇 ;

付兴朋 ;

李唐强 .

中国专利 :CN120673240A ,2025-09-19

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