一种适用于大尺寸硅片的湿花篮结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422433487.4

申请日：

2024-10-09

公开(公告)号：

CN223156000U

公开(公告)日：

2025-07-25

发明(设计)人：

李海兰

申请人：

东莞市德镁塑胶电子有限公司

申请人地址：

523710 广东省东莞市塘厦镇桥蛟西路89号11栋、12栋

IPC主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

代理机构：

广东科信锐智知识产权代理事务所(普通合伙) 44710

代理人：

白著芹

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种适用于大尺寸硅片的湿花篮装置 [P].

邵家骏 ;

林纲正 ;

陈刚 .

中国专利 :CN210837691U ,2020-06-23

[2]

一种适用于大尺寸硅片的干花篮装置 [P].

邵家骏 ;

林纲正 ;

陈刚 .

中国专利 :CN210837692U ,2020-06-23

[3]

一种适用于大尺寸硅片插片且防止硅片弯曲粘片的花篮 [P].

仇慧生 .

中国专利 :CN210142640U ,2020-03-13

[4]

一种适用于大尺寸硅片的探针排 [P].

仇慧生 .

中国专利 :CN211785693U ,2020-10-27

[5]

一种用于改善花篮印的大尺寸湿花篮结构 [P].

周璁 ;

王庆钱 ;

杨大谊 ;

周炜 ;

刘斐 .

中国专利 :CN212907677U ,2021-04-06

[6]

一种适用于大尺寸硅片插片且防止硅片弯曲粘片的花篮 [P].

仇慧生 .

中国专利 :CN110676201A ,2020-01-10

[7]

一种用于硅片盛放的大花篮结构 [P].

王淼 .

中国专利 :CN220509987U ,2024-02-20

[8]

一种适用于不同尺寸的硅片的可变轴花篮 [P].

田浩 ;

蔡剑 ;

王艺澄 ;

冯琰 .

中国专利 :CN220873539U ,2024-04-30

[9]

一种适用于大尺寸硅片的石墨框 [P].

仇慧生 .

中国专利 :CN210866139U ,2020-06-26

[10]

一种适用于大尺寸硅片的传输钢带 [P].

丁文学 ;

耿志飞 .

中国专利 :CN214705877U ,2021-11-12

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