真空吸附装置及吸附方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510492495.2

申请日：

2025-04-18

公开(公告)号：

CN120341160A

公开(公告)日：

2025-07-18

发明(设计)人：

储兴娟朱圣兵王玲

申请人：

盛合晶微半导体（江阴）有限公司

申请人地址：

214437 江苏省无锡市江阴市东盛西路9号

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-05	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20250418
2025-07-18	公开	公开

共 50 条

[1]

真空吸附方法以及真空吸附装置 [P].

高松生芳 ;

谷垣内平道 .

中国专利 :CN110014385A ,2019-07-16

[2]

玻璃真空吸附装置 [P].

邱亚柯 .

中国专利 :CN206011475U ,2017-03-15

[3]

玻璃真空吸附装置 [P].

邱亚柯 .

中国专利 :CN107718337A ,2018-02-23

[4]

真空吸附装置及真空吸附装置的设计方法 [P].

石新华 ;

陈小亮 ;

夏洪伟 ;

李晓锋 ;

孙稳 .

中国专利 :CN117400177A ,2024-01-16

[5]

真空吸附装置的控制方法及真空吸附装置 [P].

罗星 ;

陈洪 ;

潘龙 ;

吕鹤 ;

成温伟 ;

唐健 ;

李佳育 .

中国专利 :CN119526274A ,2025-02-28

[6]

真空吸附装置 [P].

赵应成 ;

杨志 .

中国专利 :CN215326355U ,2021-12-28

[7]

真空吸附装置 [P].

杨永刚 ;

雷杨 ;

刘庆 ;

向君霞 ;

汪盼 .

中国专利 :CN104564999A ,2015-04-29

[8]

真空吸附装置 [P].

宋尚霖 ;

张振铨 .

中国专利 :CN201323704Y ,2009-10-07

[9]

真空吸附装置 [P].

王全林 ;

刘付文权 ;

张思权 ;

彭威 ;

畅文欣 .

中国专利 :CN208348270U ,2019-01-08

[10]

真空吸附装置以及真空吸附产品方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119050040A ,2024-11-29

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