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基板镀膜设备及其镀膜方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510530161.X
申请日：
2025-04-25
公开(公告)号：
CN120384280A
公开(公告)日：
2025-07-29
发明(设计)人：
周向阳
申请人：
乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请人地址：
510535 广东省广州市黄埔区开泰大道57号
IPC主分类号：
C23C16/505
IPC分类号：
C23C16/52
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
栾丽华
法律状态：
公开
国省代码：
河北省
保定市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-29 | 公开 | 公开 |
| 2025-08-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/505申请日:20250425 |