共 50 条
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旋转轴及包含所述旋转轴的基板支撑装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911085484.3
申请日：
2019-11-08
公开(公告)号：
CN112786512B
公开(公告)日：
2025-07-18
发明(设计)人：
陶晓峰
贾社娜
韩阳
王晖
申请人：
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
申请人地址：
201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
余明伟
法律状态：
授权
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-18 | 授权 | 授权 |