一种铜钼钛蚀刻液及其制备方法与应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510514203.0

申请日：

2025-04-23

公开(公告)号：

CN120350378A

公开(公告)日：

2025-07-22

发明(设计)人：

吴思程李闯张红伟黄海东胡天齐

申请人：

江苏和达电子科技有限公司

申请人地址：

212212 江苏省镇江市新坝镇扬中长江大桥东侧

IPC主分类号：

C23F1/26

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

陈蒙

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省镇江市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/26申请日:20250423
2025-07-22	公开	公开

共 50 条

[1]

一种双剂型铜钼钛蚀刻液及其制备方法 [P].

刘长乐 ;

李闯 ;

张红伟 ;

黄海东 ;

胡天齐 .

中国专利 :CN119194451A ,2024-12-27

[2]

一种铜钼蚀刻液及其制备方法 [P].

钟昌东 ;

贺兆波 ;

张演哲 ;

叶瑞 ;

张庭 ;

刘悦 ;

黄锣锣 ;

黎鹏飞 ;

冯凯 ;

尹印 ;

王书萍 ;

万杨阳 ;

李金航 ;

李鑫 .

中国专利 :CN115418642A ,2022-12-02

[3]

一种用于铜钼钛结构的蚀刻液及其制备方法 [P].

吴思程 ;

李闯 ;

张红伟 ;

黄海东 ;

胡天齐 .

中国专利 :CN119040892A ,2024-11-29

[4]

一种铜/钼蚀刻液组合物及其应用 [P].

吴豪旭 ;

赵芬利 ;

梅园 .

中国专利 :CN108950557A ,2018-12-07

[5]

一种铜钼蚀刻液及制备方法 [P].

李操 ;

宁本德 ;

张成宇 ;

徐何玉婷 .

中国专利 :CN120536927A ,2025-08-26

[6]

一种铜钛蚀刻液及其制备方法 [P].

张家明 ;

王维康 ;

何烨谦 ;

黄德新 ;

龚升 .

中国专利 :CN120311190A ,2025-07-15

[7]

一种稳态高双氧水铜蚀刻液及其制备方法与应用 [P].

侯军 ;

彭仁杰 ;

曹莉芳 ;

张敬坤 ;

何佳丽 ;

刘海林 .

中国专利 :CN120625054A ,2025-09-12

[8]

一种改善蚀刻形貌的铜钼蚀刻液及其制备方法 [P].

李浩 ;

李闯 ;

李瑶 ;

张红伟 ;

黄海东 ;

胡天齐 .

中国专利 :CN120945369A ,2025-11-14

[9]

一种铜蚀刻液及其制备方法 [P].

钟昌东 ;

叶瑞 ;

贺兆波 ;

欧阳克银 ;

张庭 ;

张演哲 ;

黄锣锣 ;

黎鹏飞 ;

王荣 ;

彭俊杰 .

中国专利 :CN116240547B ,2024-03-12

[10]

一种铜钛结构蚀刻组合物及其制备方法 [P].

李恩庆 ;

谢一泽 ;

赵东 ;

李闯 ;

张红伟 ;

黄海东 ;

胡天齐 .

中国专利 :CN119194450A ,2024-12-27

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