一种PECVD真空泵管道防倒灌的装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411084302.1

申请日：

2024-08-08

公开(公告)号：

CN118912239B

公开(公告)日：

2025-08-01

发明(设计)人：

徐乾李玉亮占鹏华樊永辉许明伟樊晓兵

申请人：

深圳市汇芯通信技术有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园4栋1001

IPC主分类号：

F16K15/03

IPC分类号：

B01D35/04

代理机构：

深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374

代理人：

徐俊伟

法律状态：

公开

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-08	公开	公开
2024-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):F16K 15/03申请日:20240808
2025-08-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种PECVD真空泵管道防倒灌的装置及方法 [P].

徐乾 ;

李玉亮 ;

占鹏华 ;

樊永辉 ;

许明伟 ;

樊晓兵 .

中国专利 :CN118912239A ,2024-11-08

[2]

一种PECVD真空泵管道吹扫装置 [P].

顾明强 .

中国专利 :CN212451633U ,2021-02-02

[3]

一种PECVD真空泵管道吹扫装置 [P].

顾明强 .

中国专利 :CN111676467A ,2020-09-18

[4]

一种真空泵管道反冲洗装置 [P].

孙长安 ;

钱继宗 ;

姚华 ;

李静 ;

张正涛 ;

钱彬红 .

中国专利 :CN205289144U ,2016-06-08

[5]

一种罗茨真空泵管道防积水疏水装置 [P].

樊锐锋 ;

李铁青 ;

甘增芳 ;

赵云 ;

欧阳鹏 ;

刘潮立 ;

陈杰 ;

雷鸣 .

中国专利 :CN118327973B ,2024-10-15

[6]

一种罗茨真空泵管道防积水疏水装置 [P].

樊锐锋 ;

李铁青 ;

甘增芳 ;

赵云 ;

欧阳鹏 ;

刘潮立 ;

陈杰 ;

雷鸣 .

中国专利 :CN118327973A ,2024-07-12

[7]

一种真空泵管道密封连接结构 [P].

刘爱萍 ;

黎成辉 .

中国专利 :CN221525814U ,2024-08-13

[8]

一种真空泵管道连接机构 [P].

孙秋晔 .

中国专利 :CN223063391U ,2025-07-04

[9]

可更换的炼钢真空泵管道弯头装置 [P].

张峥峰 ;

顾斌 ;

王德林 ;

赵飞 ;

奚健生 .

中国专利 :CN202545168U ,2012-11-21

[10]

一种便于真空泵管道安装的电磁阀 [P].

杨帆 .

中国专利 :CN218152576U ,2022-12-27

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