一种高质量铟镓锌氧薄膜晶体管及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN202510556171.0
申请日
2025-04-29
公开(公告)号
CN120417457A
公开(公告)日
2025-08-01
发明(设计)人
赵春 张津玮 林永义
申请人
西交利物浦大学
申请人地址
215123 江苏省苏州市工业园区独墅湖高等教育区仁爱路111号
IPC主分类号
H10D64/01
IPC分类号
H10D64/68 H10D30/01 H10D30/67 H10D86/40
代理机构
苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235
代理人
谈俊
法律状态
实质审查的生效
国省代码
黑龙江省 哈尔滨市
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共 50 条
[1]
共面铟镓锌氧薄膜晶体管及其制备方法 [P]. 
李泠 ;
段新绿 ;
卢年端 ;
耿玓 ;
刘明 .
中国专利 :CN111682074A ,2020-09-18
[2]
一种铟镓锌氧薄膜晶体管及其制备方法 [P]. 
邓宏 ;
王艳 ;
韦敏 ;
程慧 ;
汪逸俊 .
中国专利 :CN106486551A ,2017-03-08
[3]
一种多纳米线沟道铟镓锌氧薄膜晶体管及其制备方法 [P]. 
张嘉炜 ;
王威霖 ;
吕少聪 ;
李祥龙 ;
辛倩 ;
李玉香 ;
宋爱民 .
中国专利 :CN120018561A ,2025-05-16
[4]
一种铟镓锌氧薄膜晶体管 [P]. 
朱海 ;
李华山 ;
张龙飞 ;
刘道国 .
中国专利 :CN120603295A ,2025-09-05
[5]
一种高性能垂直沟道铟镓锌氧薄膜晶体管及其制备方法 [P]. 
李玉香 ;
李志军 ;
郑帅英 ;
张嘉炜 ;
董立伟 .
中国专利 :CN118248741A ,2024-06-25
[6]
铟镓锌氧薄膜晶体管的掺杂方法 [P]. 
李泠 ;
段新绿 ;
卢年端 ;
耿玓 ;
刘明 .
中国专利 :CN111710609A ,2020-09-25
[7]
制备共面型铟镓锌氧薄膜晶体管的方法及薄膜晶体管 [P]. 
李泠 ;
段新绿 ;
卢年端 ;
耿玓 ;
刘明 .
中国专利 :CN111696868A ,2020-09-22
[8]
一种薄膜晶体管及其制备方法 [P]. 
赵宇丹 ;
霍雨佳 ;
肖小阳 ;
王营城 ;
张天夫 ;
金元浩 ;
李群庆 ;
范守善 .
中国专利 :CN108172612B ,2018-06-15
[9]
一种薄膜晶体管及其制备方法 [P]. 
赵宇丹 ;
霍雨佳 ;
肖小阳 ;
王营城 ;
张天夫 ;
金元浩 ;
李群庆 ;
范守善 .
中国专利 :CN108172626B ,2018-06-15
[10]
一种非晶铟铝锡氧化物薄膜晶体管及其制备方法 [P]. 
冯先进 ;
徐伟东 .
中国专利 :CN112687734A ,2021-04-20