共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
光学系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380088291.1
申请日：
2023-12-20
公开(公告)号：
CN120390902A
公开(公告)日：
2025-07-29
发明(设计)人：
B·P·T·梵高
J·M·范克梅纳德
K·范德鲁伊
申请人：
ASML荷兰有限公司
申请人地址：
荷兰
IPC主分类号：
G02B27/64
IPC分类号：
G03F7/20
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
胡良均
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-29 | 公开 | 公开 |
| 2025-12-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G02B 27/64申请日:20231220 |