一种氮化硅气氛烧结炉

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202310035029.2
申请日
2023-01-10
公开(公告)号
CN115978981B
公开(公告)日
2025-07-22
发明(设计)人
田鑫 徐涛 伊恒彬 王婷婷 倪世军 奚克波 常艳杰 戴明圻
申请人
辽宁伊菲科技股份有限公司 江苏新伊菲科技有限公司
申请人地址
125208 辽宁省葫芦岛市绥中县东戴河新区A区燕山路东段11号
IPC主分类号
F27B5/04
IPC分类号
F27B5/14 F27B5/18 F27D5/00 F27D7/06 F27D1/18 F27B5/06
代理机构
安徽中辰臻远专利代理事务所(普通合伙) 34175
代理人
李星辰
法律状态
授权
国省代码
安徽省 安庆市
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共 50 条
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