一种可改善SiC MOSFET沟道迁移率的复合碳化硅结构及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510590622.2
申请日
2025-05-08
公开(公告)号
CN120435033A
公开(公告)日
2025-08-05
发明(设计)人
芦伟立 房玉龙 李帅 韩明睿 王启蘅 高楠 王波
申请人
中国电子科技集团公司第十三研究所
申请人地址
050051 河北省石家庄市合作路113号
IPC主分类号
H10D30/60
IPC分类号
H10D30/01 H10D62/10 H10D62/832 H10D62/17
代理机构
石家庄国为知识产权事务所 13120
代理人
柳萌
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种高沟道迁移率的碳化硅MOSFET及其制备方法 [P]. 
冀东 .
中国专利 :CN114843347A ,2022-08-02
[2]
改善碳化硅上的MOSFET沟道中的载流子迁移率的器件 [P]. 
F·托瑞格罗萨 ;
L·洛克斯 ;
P·格蒂格诺恩 .
中国专利 :CN112703607A ,2021-04-23
[3]
改善碳化硅上的MOSFET沟道中的载流子迁移率的器件 [P]. 
F·托瑞格罗萨 ;
L·洛克斯 ;
P·格蒂格诺恩 .
法国专利 :CN112703607B ,2025-04-04
[4]
一种改善SiC MOSFET器件沟道迁移率的方法 [P]. 
刘莉 ;
杨银堂 .
中国专利 :CN104882367A ,2015-09-02
[5]
提高SiC MOSFET沟道迁移率的方法 [P]. 
贾仁需 ;
汪钰成 ;
吕红亮 ;
张玉明 .
中国专利 :CN105047539B ,2015-11-11
[6]
一种高沟道迁移率碳化硅MOS管 [P]. 
陈蕾 ;
胡健峰 ;
何海洋 ;
梁金 .
中国专利 :CN221352752U ,2024-07-16
[7]
用于改善碳化硅MOSFET中反型层迁移率的方法 [P]. 
托马斯·C·勒德尔 ;
埃纳尔·O·斯文比约登松 ;
哈尔多尔·O·奥拉夫松 ;
古德约·I·古德永松 ;
卡尔·F·阿勒斯坦 .
中国专利 :CN101512727B ,2009-08-19
[8]
用于改进SiC MOSFET中的沟道迁移率的方法 [P]. 
Y·C·阿朗戈 ;
G·阿尔菲里 ;
G·罗马诺 .
:CN119856247A ,2025-04-18
[9]
提高垂直导电结构 SiC MOSFET沟道迁移率的方法 [P]. 
贾仁需 ;
汪钰成 ;
吕红亮 ;
张玉明 .
中国专利 :CN105161526A ,2015-12-16
[10]
具有高沟道迁移率的碳化硅半导体器件及其制造方法 [P]. 
远藤刚 ;
山本刚 ;
河合润 ;
山本建策 ;
奥野英一 .
中国专利 :CN1925169B ,2007-03-07